如何測量系統流量
對于臭氧過程的定量分析，不僅需要有關臭氧濃度的知識，還需要有關臭氧氣體流速的信息。
氣體流量測量通常由轉子式流量計或熱質量流量計進行。
轉子流量計的校準取決于氣體的性質、溫度以及壓力。例如，如果在 2 barabs 下使用校準為 1 bar abs 的轉子流量計，則顯示的流速將太低約 30%！可以通過將顯示的質量流量（例如 N/min 或 Nm3/h）乘以實際壓力除以校準壓力的商的平方根來進行近似校正。
熱式質量流量計的校準實際上僅取決于氣體的性質。
由于臭氧氣體的性質隨其臭氧含量而變化，因此這些流量計都不能用于精確測量流量。熱式質量流量計還有兩個額外的缺點：其傳感器元件的高溫，通常約為 90℃，會導致一定程度的放熱?。y量過程中臭氧破壞，其熱量會干擾儀器的熱測量原理。臭氧的分解（氧原子處于初生狀態）現在往往會破壞熱質量流量計的內部毛細管，即當臭氧氣體中存在痕量氮時。
這就是為什么不能在臭氧氣體中測量流量的原因。臭氧氣體流量的精確測量只能在純載氣（通常是氧氣或干燥空氣）中間接測量，無論是在臭氧發生器之前，還是在臭氧破壞之后。
