臭氧是無毒安全氣體，在濃度高于1.5ppm以上時臭氧刺激人的呼吸系統，為此，臭氧協會制定安全衛生標準：(1ppm=1毫克/立方米) 國際臭氧協會：0.1ppm，接觸10小時 ； 美 國：0.1ppm，接觸8小時 ； 德、法、日等國：0.1ppm，接觸10小時 ；中 國：0.15ppm，接觸8小時。其濃度與接觸時間的乘積可視為基準點。
臭氧濃度在0.02ppm時，嗅覺敏捷的人便可覺察，稱為感覺臨界值，濃度在0.15ppm時為嗅覺臨界值，一般人都能嗅出，也是衛生標準點。當濃度達到1-10ppm時，稱為刺激范圍，10ppm以上時為中毒值。
人們對臭氧的感知濃度僅是0.02～0.04ppm，與安全濃度還有一定間隔。在室內利用臭氧凈化空氣，聞到臭氧味時基本上已達到消毒的作用。大約在0.02ppm時就會感到空氣特別清新，雷雨之后空氣中的清爽感就是由于雷電產生的大量臭氧和負離子的原因。一些科學家斷定，若自然界沒有臭氧，人類會遭受很多額外的災害，所以對臭氧的評價是“天賜的凈化劑”。從臭氧的“發現”至今世界上無一例因臭氧中毒死亡事故發生。
國家衛生部規定的臭氧安全濃度為0.1ppm，工業衛生標準為0.15ppm，勞動保護部門規定在安全濃度下允許工作不超過10小時。然而，人們能聞到的臭氧濃度一般為0.02ppm，離安全濃度還相差甚遠。由于臭氧有強烈刺激性，人們在感到不適時早已避開，因此在使用過程中一般不會出現中毒現象。
臭氧是一種不穩定的氣體，它的半衰期只有三十分鐘左右，在常溫下，它很多也就存在三十分鐘左右，之后還原成氧氣。如果非要去消除它的話，分法有以下幾種，一是開窗通風，沖淡臭氧濃度，很后達到消除。二是臭氧尾氣分解器利用催化原理，臭氧會迅速還原成空氣。
